感应耦合等离子体刻蚀系统

感应耦合等离子体刻蚀系统

  • 仪器分类 微纳公共平台
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 微纳公共平台
  • 仪器生产商 senTech
  • 购置日期 2023-01-17
  • 使用模式 送样预约,机时预约
  • 规格型号 SI 500
  • 放置房间号 1E-E107

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

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