干法刻蚀设备（硅）

干法刻蚀设备（硅）

  • 仪器分类 先进光子学国际研究中心
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 先进光子国际研究中心
  • 仪器生产商 北方华创
  • 购置日期 2023-07-07
  • 使用模式 机时预约
  • 规格型号 HSE M200
  • 放置房间号 1B104

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

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