原子层沉积系统

原子层沉积系统

  • 仪器分类 集成电路先导技术研究所
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息电子国际研究中心
  • 仪器生产商 江苏迈纳德微纳技术有限公司
  • 购置日期 2021-06-23
  • 使用模式 送样预约,机时预约
  • 规格型号 MNT-PD1000z-L5S2G3
  • 放置房间号 IE楼-317

使用指南

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FAQ

  • 暂无数据

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