基本信息
- 生产厂商 江苏迈纳德微纳技术有限公司
- 资产编号 21011187
- 资产负责人 赵毅
- 购置日期2021-06-23
- 仪器价格57.90 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商江苏迈纳德微纳技术有限公司
- 购买经办人赵毅
- 主要配件 反应腔系统，前驱体源输送系统，臭氧源系统，真空系统，等离子体源系统，控制系统。
- 主要参数1、双层腔体结构，反应腔和真空腔单独密封，漏率晓雨5*10-7 Pa.L/s;反应腔衬底最高加热温度可达600度，腔壁最高加热温度可达300度，温度控制精度满足±1度以内。
2、配备了7路前驱体源主管路，另外配备1路气体管路用于臭氧源输送，最高加热温度可达200度，温度控制精度满足±1度以内。
3、臭氧发生器产量10g/h,浓度不低于80g/m
4、真空抽速不小于40m3/h,本底真空不高于1Pa；压力传感器检测范围：1000-10-4 Torr.
5、电极与衬底距离大于80mm，采用13.56MHz射频电源，功率0-300W可调，自动匹配器匹配时间精度为3-5秒。
