基本信息
- 生产厂商 蔡司
- 资产编号 8405010110
- 资产负责人 胡欢
- 购置日期2020-11-20
- 仪器价格659.60 万元
- 仪器产地德国
- 仪器供应商赛尔网络有限公司
- 购买经办人
- 主要配件
- 主要参数一、 离子束
1. 分辨率：≤3.0nm@30kV；
2. 离子镜筒：Ion-sculpture镜筒；
3. 放大倍率范围不小于：300x~500kx；
4. 束流强度范围不小于：1pA-65nA；
5. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；
二、 电子束
1. 分辨率：≤0.9nm@15KV；≤1.8nm@1kV；
2. 最大束流不低于20nA；
3. 放大倍率范围不小于：20x-2000kx；
4. 加速电压范围不小于：0.5kV-30kV；
三、 样品室及马达台系统
1. 样品室内部尺寸不小于330mm（宽）？330mm（深）？270mm（高）；
2. 六轴高精度超优中心全自动马达样品台：样品台XY方向移动范围不低于100mm，Z方向移动范围不低于10mm，倾斜角度T范围不小于-4°到60°，旋转角度R=360°；
3. 样品预交换室：可放置样品最大尺寸不小于80mm；
四、 电子束曝光
1. 设备连接后，保证可实现将电镜切换成外部扫描模式；
2. 通过图形发生器设定写场，同时扫描图像后保证图像水平和垂直方向正确；
3. 通过图形发生器实现控制束闸的开关；
4. 通过图形发生器实现扫描电镜和其工作台的远程控制；
5. 使用标样对写场进行校准；
