1.系统极限真空：8*10-6Pa；                                  

2.工作真空度：≤6.67*10-4Pa；    

3.样品到坩埚距离：500mm；                             

4.蒸发镀膜种类：金属及非金属薄膜；

5.达到工作真空度时间：≤45分钟；

6.样品加热温度：800℃。