1.量程：5nm-100um；

2.水平分辨率：0.025um；

3. 最大扫描长度：150mm，仅2D扫描；

4.扫描速度：2um/s-25mm/s；

5.探针测量力：0.03-50mg；

6.探针半径：2um；

7.双重倍数显示：60-240x。