基本信息

  • 生产厂商 优尼康
  • 资产编号 21015150
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  • 购置日期2021-08-27
  • 仪器价格41.75 万元
  • 仪器产地美国
  • 仪器供应商翌颖科技（上海）有限公司
  • 购买经办人詹玥莹
  • 主要配件
  • 主要参数1. 测量原理：非接触、白光干涉三维光学轮廓仪 2. 光源：均匀成像，高效率，特殊设计长寿命白光LED。 3. 纵向扫描装置：闭环反馈压电陶瓷。 3.1 纵向运动范围：100mm，0.1nm测量精度 3.2 纵向扫描范围（压电陶瓷驱动）：500um，0.1nm测量精度 3.3 垂直接扫描速度：12um/sec 4. 软件一键切换测量模式： 4.1 WLI和PSI两种测量模式 4.2 WLI厚度测量范围：50nm-10mm 4.3 WLI模式RMS重复性1.0nm 4.4 PSI厚度测量范围：0-3um 4.5 PSI模式RMS重复性0.1nm 4.6 台阶高度准确性：0.7% 4.7 台阶高度精确度：0.1% 4.8 台阶高度稳定性：0.15% 4.9 样品反射率范围：0.05%-100% 4.10 ISO 25178兼容：是 4.11 台阶高度值能以直方图显示 5. ★相机性能：2592×1944（500万像素），光学变焦：1X、2X、4X光学变焦（变焦后的有效像素648×484）。 6. 配置手动最大支持4物镜炮塔及自动位置感测及切换 7. ★干涉镜头与大视野 8. 标准片：配置SHS-CrOnSi-10um，1.25英寸10微米台阶高度标准厚度片。 9. ★Online 在线分析平台，可在线上传fibps file类型数据文件进行测量、分析、记录、计算、实现被测物表面3D 轮廓、生成文件便于共享；Online APP（移动端处理软件），免费配置可用于移动端（如手机、平板电脑）进行存储、共享、查看、分析数据的APP，通过该APP，用户可实时进行离线数据查看和处理 10. XY平台：手动和自动聚焦，平台尺寸100mm×100mm，四向倾斜手动水平调整，偏角调整范围+/-5︒。 11. ★设备重量 ＜ 18kg 12. 设备体积 ＜ 330 mm x 330mm x 550mm 13. Stitching图形拼接功能，可以对大区域形貌，通过多次图形扫描后，拼接成大区域的3D形貌图。 14. ★Color Imaging （真实色彩输出），彩色CCD ，可以直接通过软件license 升级（选配）到该功能，不用添加任何硬件配置。在测量软件上真实现实显示样品实际颜色及样貌，便于用户发表测量结果。 15. Total Focus （轮廓全聚焦），可以使得视野范围内的图像，通过各个成像像素实现不同高低差的轮廓，全聚焦。带来使用范围内无模糊感，进一步提升样品测量质量。

仪器介绍

兼具垂直扫描干涉 (WLI)和高精确度相移干涉 (PSI) 技术的经济型光学轮廓仪，其可以用于多种用途的高精度表面测量高精度表面形貌表征、例如可测量三维表面形貌、粗糙度及膜厚等，是高精度的非接触式的表面表征的必选设备。