基本信息

  • 生产厂商 牛津仪器科技有限公司
  • 资产编号
  • 资产负责人 赵毅
  • 购置日期2018-11-02
  • 仪器价格184.72 万元
  • 仪器产地英国
  • 仪器供应商赛尔网络有限公司
  • 购买经办人赵毅
  • 主要配件
  • 主要参数刻蚀材料：各类氧化物、氮化物、硅、锗以部分金属材料； RF射频源：0-800W, 13.56MHz; ICP离子源：0-3000W，13.56MHz；腔体温度：-20℃-60摄氏度； 反应气体：N2、O2、Ar、C4F8、CHF3、SF6； 极限真空：3E-6Torr； 样品尺寸：小于4英寸；

仪器介绍

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