基本信息
- 生产厂商 牛津仪器科技有限公司
- 资产编号
- 资产负责人 赵毅
- 购置日期2018-11-02
- 仪器价格184.72 Ten thousand yuan
- 仪器产地英国
- 仪器供应商赛尔网络有限公司
- 购买经办人赵毅
- 主要配件
- 主要参数刻蚀材料：各类氧化物、氮化物、硅、锗以部分金属材料；
RF射频源：0-800W, 13.56MHz; ICP离子源：0-3000W，13.56MHz；腔体温度：-20℃-60摄氏度；
反应气体：N2、O2、Ar、C4F8、CHF3、SF6；
极限真空：3E-6Torr；
样品尺寸：小于4英寸；
