基本信息
- 生产厂商 台湾MPI CORPORATION
- 资产编号 20028774
- 资产负责人 赵毅
- 购置日期2020-11-18
- 仪器价格178.32 万元
- 仪器产地中国台湾
- 仪器供应商浙江纳德科学仪器有限公司
- 购买经办人赵毅
- 主要配件
- 主要参数1、载片台可实现四维运动, 直径≥310 mm，平坦度＜±12μm;最大耐压值Forceto-GND ≥ 600VDC，Force-to-Guard ≥600V DC；
2、载物台最小支持4x4 mm样品吸附，可单独控制75mm、150mm、200mm、300 mm吸附区域的开关。
3、载物台XY移动范围≥ 310 mm x 310 mm，移动分辨率≤0.5 μm，移动精度≤± 2.0μm，最大移动速度≥50 mm/sec。
4、Z方向移动范围≥30 mm，移动分辨率≤0.2 μm，移动精度≤± 2μm，重复精度≤±1μm。
5、载物台Theta旋转范围≥±5.0°，旋转分辨率≤0.0001°，旋转精度< 2.0 μm，重复精度<1.0μm。
6、支持-60℃至300℃高低温环境的测试；
7、探针台台面与载物台高度≥48mm,
