基本信息
- 生产厂商 深圳市森美协尔科技有限公司
- 资产编号 21034615
- 资产负责人 赵毅
- 购置日期2021-12-20
- 仪器价格148.00 万元
- 仪器产地中国
- 仪器供应商深圳市森美协尔科技有限公司
- 购买经办人赵毅
- 主要配件
- 主要参数1、 载片台可实现四维运动，直径12英寸，X-Y轴行程350mm*400mm，X-Y轴行程分辨
率0.1μm，X-Y轴行程运动速度70 mm/sec，X-Y轴行程重复精度≤±1μm ，X-Y轴
行程定位精度≤±2μm，Z轴行程20mm, Z轴行程分辨率0.1μm, Z轴行程运动速度
20 mm/sec, 载台Theta旋转范围±10°, Theta旋转精度0.0001°。2、系统配套微
暗室和一体化高性能防震系统，电磁屏蔽能力>30 dB (typical) @ 1 kHz to 1
MHz，光谱噪声基底≤-180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)，光衰减≥130 dB，系统AC噪
声≤5 mVp-p(≤1GHz)，可升级高低温测试，升级温度范围：-60~300℃。
