基本信息

  • 生产厂商 英国牛津仪器集团
  • 资产编号 22012311
  • 资产负责人 戈佳艳
  • 购置日期2022-07-29
  • 仪器价格128.71 万元
  • 仪器产地英国牛津
  • 仪器供应商牛津仪器科技（上海）有限公司
  • 购买经办人胡欢
  • 主要配件
  • 主要参数1、对于SiO2 的刻蚀速率：40nm/min； 2、片间均匀性：0.53%； 3、刻蚀选择比：光刻胶=3.2:1； 4、刻蚀侧壁倾角：75.65°； 5、对于SiNx 的刻蚀速率：88nm/min； 6、片间均匀性：0.49% ； 7、刻蚀选择比：光刻胶=1.8:1； 8、刻蚀侧壁倾角：73.01°。

仪器介绍

1、对于SiO2 的刻蚀速率：40nm/min；

2、片间均匀性：0.53%；

3、刻蚀选择比：光刻胶=3.2:1；

4、刻蚀侧壁倾角：75.65°；

5、对于SiNx 的刻蚀速率：88nm/min；

6、片间均匀性：0.49%    ；                                      

7、刻蚀选择比：光刻胶=1.8:1；                         

8、刻蚀侧壁倾角：73.01°。