基本信息
- 生产厂商 Tektronix
- 资产编号 23006381
- 资产负责人 ----
- 购置日期2022-05-23
- 仪器价格84.24 万元
- 仪器产地美国
- 仪器供应商
- 购买经办人
- 主要配件 半导体参数分析仪主机1台，高功率源测量单元3个，远程前端放大器3个，电容电压测量单元1个，脉冲测量单元1个，远程放大及开关单元2个
- 主要参数1.半导体参数分析仪主机配置：
1.1. Windows10操作系统, 软件图形化界面, 全集成化。
1.2. 标准半导体器件参数测试库；纳米器件参数测试库；WLR可靠性参数测试库；半导体CV参数分析库。
1.3. 每个高功率源测量单元提供2根2米超低噪声三同轴线缆，每个电容电压测量单元、脉冲测量单元提供两根2米SMA线缆；任意一个功率源测量单元，电容电压测量单元，脉冲测量单元均只占一个插槽，至少包含9个插槽，方便扩展升级。
2.高功率源测量单元：
2.1. 电流测试范围/分辨率至少包含：100nA(量程)/100fA，1A(量程)/1uA。
2.2. 电压源输出电压/分辨率至少包含：200mV(量程)/5μV，200V(量程)/5mV。
3. 远程前端放大器：
★3.1.测试范围/分辨率至少包含：1pA(量程)/0.01fA，100mA(量程)/50nA。
3.2. 前端放大单元电压参数与其所在模块相同。
4.电容电压测量单元：
★4.1.不同频率下的C-V测试，频率测试范围至少包含：1KHz-10MHz。
★4.2.直流偏置电压范围：≥±30V，差分模式：≥±60V。
5.脉冲测量单元：
5.1.可编程双通道脉冲，电压电流同步测量。
5.2.脉冲并同时测量时
★5.2.1.最小脉冲宽度: ≤70ns；
5.2.2.最大电压:≥ ±40V;
5.2.3.最大电流:≥±800mA;
6.远程放大及开关单元
6.1.扩展脉冲电流测量范围至少包含: (10mA,1mA, 100μA, 10μA, 1μA,100nA)；
6.2.实现直流IV、脉冲IV、CV模块之间不用换线的自动切换。
